Phòng sạch

Một phòng sạch hoặc phòng sạch là một không gian được thiết kế để duy trì nồng độ rất thấp của các hạt lơ lửng trong không khí. Nó được cách ly tốt, được kiểm soát tốt khỏi sự ô nhiễm, và được làm sạch tích cực. Những phòng như vậy thường cần thiết cho nghiên cứu khoa học và trong sản xuất công nghiệp cho tất cả các quy trình ở quy mô nano, chẳng hạn như sản xuất thiết bị bán dẫn. Một phòng sạch được thiết kế để giữ mọi thứ từ bụi đến các sinh vật trong không khí hoặc các hạt bốc hơi ra khỏi nó, và do đó ra khỏi bất kỳ vật liệu nào đang được xử lý bên trong nó.

Phòng sạch cũng có thể ngăn chặn sự thoát ra của vật liệu. Đây thường là mục tiêu chính trong các lĩnh vực sinh học, công việc hạt nhân, dược phẩm, và virus học.

Phòng sạch thường đi kèm với mức độ sạch sẽ được định lượng bằng số lượng hạt trên một mét khối ở một phép đo phân tử được xác định trước.
Không khí bên ngoài xung quanh trong một khu vực đô thị điển hình chứa 35.000.000 hạt cho mỗi mét khối trong phạm vi kích thước 0,5 μm trở lên, tương đương với phòng sạch được chứng nhận ISO 9. Để so sánh, một ISO 14644-1 cấp độ 1 phòng sạch được chứng nhận không cho phép các hạt trong phạm vi kích thước đó và chỉ 12 hạt cho mỗi mét khối 0,3 μm trở xuống. Các cơ sở bán dẫn thường đạt được cấp độ 7 hoặc 5, trong khi các cơ sở cấp độ 1 cực kỳ hiếm.